1. Integrert design av optisk metallografisk mikroskop og atomkraftmikroskop, kraftige funksjoner
2. Den har både optisk mikroskop og atomkraftmikroskopavbildningsfunksjoner, som begge kan fungere samtidig uten å påvirke hverandre
3. Samtidig har den funksjonene til optisk todimensjonal måling og atomkraftmikroskop tredimensjonal måling
4. Laserdeteksjonshodet og prøveskanningstrinnet er integrert, strukturen er veldig stabil, og anti-interferensen er sterk
5. Presisjonssondeposisjoneringsenhet, laserpunktjustering er veldig enkelt
6. Enakset drivprøve nærmer seg automatisk sonden vertikalt, slik at spissen av nålen skannes vinkelrett på prøven
7. Den intelligente nålematingsmetoden til den motorstyrte trykksatte piezoelektriske keramiske automatiske deteksjonen beskytter sonden og prøven
8. Optisk posisjoneringssystem med ultrahøy forstørrelse for å oppnå presis posisjonering av sonde og prøveskanningsområde
9. Integrert skanner, ikke-lineær korreksjon brukerredigerer, nanometerkarakterisering og målenøyaktighet bedre enn 98 %
Spesifikasjoner:
Driftsmodus | berøringsmodus, trykkmodus |
Valgfri modus | Friksjon/lateral kraft, amplitude/fase, magnetisk/elektrostatisk kraft |
kraftspektrumkurve | FZ kraftkurve, RMS-Z kurve |
XY skanningsområde | 50*50um, valgfri 20*20um, 100*100um |
Z skanningsområde | 5um, valgfritt 2um, 10um |
Skanneoppløsning | Horisontal 0,2nm, Vertikal 0,05nm |
Prøvestørrelse | Φ≤68mm, H≤20mm |
Eksempel på etappereise | 25*25 mm |
Optisk okular | 10X |
Optisk objektiv | 5X/10X/20X/50X Plan apokromatiske mål |
Belysningsmetode | LE Kohler lyssystem |
Optisk fokusering | Grov manuell fokus |
Kamera | 5 MP CMOS-sensor |
vise | 10,1 tommers flatskjerm med grafrelatert målefunksjon |
Skannehastighet | 0,6 Hz-30 Hz |
Skannevinkel | 0-360° |
Driftsmiljø | Windows XP/7/8/10 operativsystem |
Kommunikasjonsgrensesnitt | USB2.0/3.0 |